Precisie IR sensor voor wafer
Waarom we overstappen op IR-technologie voor leidvrije chips
De trend richting ‘groene’ en leidvrije halfgeleiderfabricage is geen tijdelijke trend –...
Energiezuinige waferverwarmer
Waarom we elke enkele verwarmingselement testen (en waarom dat belangrijk is voor u)
In de wereld van het opwarmen van siliciumwafers zijn de marges...
Veiligheidsafstand voor het opwarmen van de wafer
Waarom we overstappen op infraroodsneldroging voor wafers De laatste tijd wordt er veel aandacht besteed aan infraroodsneldroging. Dat is logisch:...
Reflector voor wafer curing lamp
Voorkom dat uw droogingsapparaat verandert in een enorme ruimtemotor
Het probleem met infraroodlampen is dat ze, zonder reflector, net zoals...
Temperatuursensor voor wafer hulpmiddel
Het veilig houden van de apparatuur bij het gebruik van infraroodverwarming voor het reinigen van gewichten
Laten we eerlijk zijn: het plaatsen van...
Wafer oxidatieverhittingselement
Inleiding Laten we meteen ter zake komen. Bij de oxidatie van halfgeleiderplakken is het verwarmingselement geen gewone onderdeel; het vormt juist...
Kost van infrarode plakverwarmerlamp
Op de lithografielijn weet je nooit zeker hoe snel alles uit de hand kan lopen. Een lichte of sterke verhitting die zelfs maar een halve graad...
Lamp voor het drogen van wafers na reiniging
Tijdens het proces is de kwaliteit van het spoelen na het reinigen afhankelijk van de droogingsstap die daarna volgt. Als de thermische controle niet...
Verwarmer voor het meten van de oppervlaktespanning van wafers
In de lithografie is een afwijking van een halve graad Celsius tijdens het proces van ‘soft bake’ of ‘hard bake’ zeker geen ‘kleine fout’. Deze...
Ellipsometrie wafelsondesverwarmer
Op de lithografieafdeling is al een verschil van een halve graad tijdens het zachte bakproces voldoende om een goed gecontroleerd profiel van de...
Hoe een wafer na het reinigen te drogen
Op de productielijn is een wafer die uit de reinigingsprocedure komt pas echt schoon wanneer deze volledig droog is. Eventuele restanten van water,...