In de lithografie is een afwijking van een halve graad Celsius tijdens het proces van ‘soft bake’ of ‘hard bake’ zeker geen ‘kleine fout’. Deze afwijkingen beïnvloeden de stroming van het fotorezist, verstoren de controle over de belangrijkste dimensies en zorgen er ook voor dat de productkwaliteit niet voldoet aan de specificaties. In de praktijk leidt dit tot verspilling, herwerking en vertragingen in het productieproces. We hebben onze heaters ontworpen om thermische variaties al voordat ze de wafer bereiken, te voorkomen.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We gebruiken kortgolfröntgen-elementen in een kwartsbasisontwerp. Hierdoor wordt de hitte snel en efficiënt overgedragen, zonder risico op de vorming van deeltjes. Over de hele actieve zone blijft de uniformiteit van de wafer op ±0,1°C, en de herhaalbaarheid blijft constant, run na run. De heater is ontworpen voor gebruik in schoonruimtes van klasse 1–100. Hij bevat materialen met een lage uitstoot van gassen en heeft een oppervlak dat de hoeveelheid deeltjes minimaal houdt. De heater past zich gemakkelijk aan in standaardontwerpen en werkt goed samen met bestaande apparaten voor het beschermen en bakken van de wafer.
Waarom dit werkt in het fotorezistproces:
Alles is gevoelig voor temperatuurveranderingen. Het verwijderen van oplosmiddelen, de viscositeit en de oppervlaktespanning worden allemaal bepaald door temperatuur en tijd. Als je de temperatuur stabiel houdt, krijg je een voorspelbaar resultaat qua breedte van de lijnen en het gedrag van de randen. Dit leidt tot minder afwijkingen, betere controle en minder verspilling. Bovendien verlaagt snelle temperatuurregeling en stabiel functioneren de energieverbruik. De betrouwbaarheid van de heater is zo hoog dat deze 24/7 kan worden gebruikt.
Praktische aspecten:
Voor de installatie moet je de vereiste stroomsterkte en controlesignalen optimaliseren voor de betreffende apparaten. Daarnaast moet je de thermische instellingen aanpassen aan de specifieke eisen van het fotorezistmateriaal. De heater werkt het beste wanneer je eerst de luchtcirculatie en de dichtheid van het materiaal controleert. Plan de integratie van de heater op tijd en valideer het profiel eerst op basis van jouw specifieke materiaal.