エバテック蒸発器加熱ランプ

ファブフロアでの重要性 フォトレジストのベークにおける0.5°Cのドリフトは、全ロットを廃棄するのに十分です。Evatecの蒸発装置を使用しており、熱予算は固定されています。加熱ランプは、プロセスの意図が実際にウェーハに影響を与える場所です。少しでも誤差があれば、リソグラフィのオーバーレイに影響を...