クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター

なぜクリーンルームでは赤外線による硬化処理が採用されているのか？ 正直に言って、従来の対流式オーブンは使いづらいものです。空気を加熱する方式なので、まるで巨大なヘアドライヤーを使って部屋を温めようとしているようなものです。多大なエネルギーが無駄に消費されますし、何よりも、微粒子が発生してウェーハを...