Op het oppervlak van de wafer heeft een temperatuursverschil van slechts enkele graden tijdens het proces van GaN-epitaxis grote gevolgen voor de kwaliteit van de producten. Het resultaat is dat de dikte van het materiaal niet meer goed kan worden beheerst, de weerstand van het materiaal ook niet meer consistent blijft, en de apparaten die klanten kopen, werken dan niet meer naar behoren.
Wat technisch gezien belangrijk is
Wij maken gebruik van een GaN MOCVD-infraroodverwarmer die ervoor zorgt dat de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer gelijkmatig is. Dit wordt bereikt door een nauw gecontroleerde kortegolflengte-infraroodbron te combineren met een kwartsgebaseerd thermisch systeem. Hierdoor blijft de temperatuur op het niveau van de wafer binnen een marge van ±0,1°C. Dit is geen laboratoriumwaarde; het gaat om dezelfde thermische profilering, elke keer opnieuw, in elke kamer.
De platform is ontworpen voor gebruik in een schone ruimte: er wordt geen stof gegenereerd tijdens het proces, en de uitgangsprestaties blijven stabiel, zelfs in omgevingen van klasse 1–100.
Waarom dit werkt in MOCVD
Bij MOCVD is thermische herhaalbaarheid cruciaal voor het verkrijgen van betrouwbare resultaten. Hierdoor zijn er minder problemen met de kwaliteit van de producten. De verwarmer reageert snel en houdt de temperatuur nauwkeurig onder controle, waardoor de tijd die nodig is om de temperatuur te stabiliseren afneemt. De cyclusduur verkort zich zonder dat de kwaliteit van het product wordt beïnvloed. Ook het energieverbruik is efficiënter: de infraroodsterkte wordt aangepast aan de belasting, in plaats van te hoog te worden gezet om hete plekken te verminderen.
Praktische aspecten
De verwarmer werkt met standaard MOCVD-platforms, maar de integratie is afhankelijk van de geometrie van de kamer en de richting van het licht op het materiaal. Plan een gezamenlijke invoer om de emissiviteit, alignement en regeling van de verwarmer optimaal te krijgen. Er kan een lichte daling in de piekintensiteit optreden wanneer de kwartscomponenten beginnen te bedekken met een laagje. Houd er rekening mee om regelmatig onderhoud uit te voeren, zodat de uniformiteit binnen de vereiste grenzen blijft.