웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

웨이퍼 세척에 적외선 가열을 사용할 때 안전을 지키는 방법 솔직히 말해서, 인화성이나 폭발성이 있는 세척제가 들어 있는 도구 안에 적외선 램프를 넣는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 스파크라도 발생하거나 램프의 외관에 균열이 생기면, 그건 단순히 도구가 고장난 것이...