고효율 웨이퍼 건조기 전구

300mm 웨이퍼가 최종 린스 공정을 통과하는 모습을 관찰한다. 표면에 물기가 남아 있으면, 이는 바로 포토레지스트 베이크 공정으로 유입되어 결함으로 이어진다. Class 1–100 클린룸 환경에서 드라이어 벌브는 단순한 히터가 아니다. 이는 공정의 관문 역할을 한다...