웨이퍼 세척에 적외선 가열을 사용할 때 안전을 지키는 방법 솔직히 말해서, 인화성이나 폭발성이 있는 세척제가 들어 있는 도구 안에 적외선 램프를 넣는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 스파크라도 발생하거나 램프의 외관에 균열이 생기면, 그건 단순히 도구가 고장난 것이...

팹에서는 웨이퍼 건조나 포토레지스트 굽기 과정에서 발생하는 온도 변동이 단순히 SPC 차트상의 작은 오차에 불과한 것이 아닙니다. 이는 결국 생산 효율 저하로 이어집니다. 저희는 단파 적외선(NIR)을 활용한 고온 가열 방식을 사용합니다. 이 방식은 기판에 직접 닿지...