청소한 후 웨이퍼를 어떻게 건조시키나요

생산 현장에서는, 클린룸에서 나온 웨이퍼가 완전히 건조될 때까지는 진정으로 깨끗한 상태라고 할 수 없습니다. 남아 있는 물방울 자국, 미세한 얼룩, 혹은 표면 장력의 불균일성은 이후에 포토레지스트 부착 문제나 리소그래피 과정에서의 결함으로 나타납니다. 프로세스의 정밀...