글로브박스 적외선 히터 소자

적외선과 뜨거운 공기: 글로브박스의 온도를 제대로 조절하는 방법 반도체의 심층 가공을 수행할 때는 글로브박스 내부의 온도를 제어하는 것이 얼마나 어려운지 잘 알고 있을 것입니다. 오랫동안 사용되어 온 방법은 뜨거운 공기를 이용한 방식이었습니다. 즉, 가열된 공기를 작...