에바텍 증발기 가열 램프

Fab 라인에서 포토레지스트 베이크 온도가 0.5°C만 변해도 대량 폐기 손실이 발생할 수 있다. Evatec 증착기를 사용 중이고, 열 예산은 고정되어 있다. 가열 램프는 실제로 프로세스 의도가 웨이퍼에 전달되는 부분이다. 조금이라도 벗어나면 리소그래피 오버레이에...