선형 적외선 난방 방출기

리소그래피 현장에서 오븐 사이클링 소리가 들리며 라인이 대기 중입니다. 포토레지스트 베이크 프로파일이 드리프트할 때, 수율이 영향을 받습니다—한 도씩. 필요한 것은 웨이퍼의 열 예산을 존중하는 열원이며, 챔버의 것이 아닙니다. 기술적으로 중요한 점 우리는 근적외선...