클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
반도체 제조 공장을 운영한다면, 제품의 품질이 떨어지는 상황이 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 클래스 100 환경에서는 아주 미세한 양의 가스나 발열체에서 나오는 미세 입자만으로도 제품의 품질이 저하될 수 있습니다.
대부분의 일반적인 가열 램프들은 이러한 조건에 적합하지 않습니다. 최고 온도에 도달하면 금방 손상되거나 불순물이 나옵니다. 정말 문제가 많죠.
그래서 우리는 고순도 합성 석영을 사용합니다.
왜 이 재료가 중요한가?
우리는 금속 불순물이 거의 없는 융합된 규소를 사용합니다. 왜냐하면 이 재료를 사용하면 웨이퍼가 항상 깨끗하게 유지되기 때문입니다. 일반적인 유리나 저품질의 석영은 지속적인 열 변화에 견디지 못합니다. 그 결과 먼지가 생기고, 결국 너무 늦어질 때까지 오염된 상태를 인지할 수 없습니다.
우리의 램프는 단파 적외선을 사용합니다. 이를 통해 대상물 주변의 공기를 가열하는 대신, 에너지를 직접 기판에 전달합니다. 그 결과 클린룸 내의 공기 흐름이 안정적으로 유지되고, 환경도 안정적으로 유지됩니다.
설치 방법
이 램프들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되어 있습니다. 전체 장비를 다시 설치할 필요는 없습니다. 다양한 와트수와 길이의 램프가 있으므로, 기존 장비에 그대로 맞출 수 있습니다.
우리는 표준적인 R7s나 Sk15 커넥터를 사용합니다. 이 커넥터들은 매우 견고하여 아크 현상이나 산화가 일어나지 않습니다. 그저 깨끗한 전기 연결만 가능합니다.
한 가지 팁: 긴 케이블을 사용할 경우 전압 강하를 주의해야 합니다. 고왓수의 램프는 안정적인 전력이 필요합니다. 전력 공급이 불안정하면 기판에 불균일한 열이 발생할 수 있습니다.
주의점
고순도 석영의 단점은 견고함이 부족하다는 것입니다. 극심한 열에는 잘 견디지만, 진동이나 거친 처리에는 약합니다. 반드시 조심스럽게 다루어야 합니다.
설치할 때는 반드시 진공 흡입 도구를 사용하세요. 절대로 맨손으로 석영을 만지지 마세요. 피부에서 나오는 기름 때문에 ‘핫 스팟’이 생겨 램프가 예상보다 빨리 고장날 수 있습니다.
또한, 냉각 팬도 꼭 확인해야 합니다. 챔버 벽에서 반사되는 열을 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 램프의 끝부분이 과열될 위험이 있습니다.