장비의 벽면에 열이 낭비되는 것을 막으세요.
대부분의 가열 요소들은 다소 지저분한 구조를 가지고 있어서, 열을 사방으로 방출합니다. 클린룸에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 값비싼 반도체 장비들이 그러한 낭비된 열을 흡수하게 되는데, 이는 단순히 에너지의 낭비일 뿐만 아니라, 기계의 섀시를 뜨겁게 만들어 작업자에게 심각한 안전 위험을 초래합니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 방향성이 있는 적외선 램프를 사용합니다.
실제 작동 원리
이를 공간 난방기라고 생각하기보다는 손전등처럼 생각하는 것이 좋습니다. 적외선 램프는 주변 공기를 따뜻하게 하는 대신 전자기파를 방출합니다. 우리는 특수한 반사체와 단파 방출기를 사용하여 그 에너지를 직선으로 보냅니다. 그 에너지는 작업물에 직접 도달하고 그곳에 머물러 있습니다. 공기 중에 머물거나 기계의 금속 벽면으로 스며들지 않습니다. 따라서 원하는 곳에 정확히 열을 공급할 수 있으며, 나머지 장비들은 여전히 시원한 상태를 유지할 수 있습니다.
올바른 설정 방법
클린룸의 작업대에 이 장비를 설치할 때는 아무 램프나 사용할 수 없습니다. 적절한 파장의 램프가 필요합니다. 우리는 단파 적외선 램프를 사용하는데, 이는 물질을 빠르게 통과할 수 있으며 공기 중을 이동할 때 에너지 손실이 적기 때문입니다.
또한 석영 커버도 사용합니다. 왜냐하면 클린룸에서는 램프에서 발생하는 불필요한 물질들이 샘플을 오염시킬 수 있기 때문입니다.
하지만 전력 조절에는 주의해야 합니다. 너무 많은 와트를 작은 면적에 집중시키면 기판에 과열이 발생할 수 있으며, 이는 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 안정적인 온도를 유지하기 위해 우리는 보통 이 램프들과 PID 컨트롤러 및 빠르게 반응하는 서모커플을 함께 사용합니다.
현실적인 타협점
물론 이 방법도 완벽한 해결책은 아닙니다. 에너지가 너무 집중되기 때문에, 특정 부분이 차가울 수 있습니다. 부품의 형태나 구조가 복잡할 경우, 모든 부분을 체크하기 위해 여러 개의 램프를 사용해야 할 수도 있습니다.
또 한 가지, 이 램프들의 끝부분은 엄청나게 뜨거워집니다. 냉각 팬이나 히트 싱크를 제대로 갖추지 않으면 소켓이 손상될 수 있습니다. 냉각에 소홀하면 원하지 않는 시기에 부품을 교체해야 할 수도 있습니다.