진공 챔버용 적외선 히터

웨이퍼가 가열될 때까지 기다리는 데 시간을 낭비하지 마세요. 여전히 반도체 처리에 공기 순환 방식을 사용한다면, 그건 마치 “시간 세금”을 내는 것과 같습니다. 강제적인 공기 순환 방식을 생각해보세요. 먼저 전체 챔버를 가열해야 하고, 그 다음에는 가스를 가열해야 합...