Verhindern Sie, dass Ihr Aushärtungssystem zu einem riesigen Heizgerät wird
Das Problem mit Infrarotlampen ist folgendes: Ohne Reflektor funktionieren sie wie Herde – sie strahlen die Wärme in alle Richtungen ab.
Wenn Sie der verantwortliche Ingenieur sind, ist das ein Albtraum. Wenn man eine Hochleistungslampe in eine Aushärtungskammer setzt, landet all diese Energie, die nicht auf dem Wafer landet, an den Innenwänden der Maschine. Plötzlich fungiert das teure Gehäuse als Wärmespeicher. Schon bald sind die Außenpaneele so heiß, dass sie die Arbeiter verbrennen können. Das ist wirklich nicht gut.
Die Lösung: Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie hingehört
Die Lösung ist eigentlich ganz einfach: Nutzen Sie einen Präzisionsreflektor zusammen mit der Lampe. Stellen Sie sich das wie das Fokussieren eines Taschenlampenlichts vor – anstelle einer einfachen Glühbirne. Der Reflektor leitet die Strahlungsenergie in einen eng begrenzten Strahl um.
Wenn man den Fokuspunkt kontrolliert, bleibt die Wärme auf der Oberfläche des Wafers. Dadurch wird verhindert, dass die „Überhitzung“ in die Hardware eindringt. Das thermische Profil bleibt stabiler, die Wände bleiben kühl – und das Personal kann den Maschinenrahmen berühren, ohne Angst haben zu müssen, verbrannt zu werden.
Der Haken – und wie man damit umgeht
Es gibt jedoch einen Nachteil: Die meisten dieser Reflektoren nutzen hochreinen Aluminium- oder Goldbeschichtungen, um beste Ergebnisse bei Kurzwell-Infrarotstrahlung zu erzielen. Sie funktionieren hervorragend – doch sie sind empfindlich.
Wenn Staub oder chemische Verunreinigungen auf der Oberfläche des Reflektors entstehen, nimmt die Effizienz ab. Man bemerkt, dass die Temperatur in der Kammer steigt – denn der Reflektor beginnt stattdessen die Wärme aufzunehmen, anstatt sie abzuleiten. Halten Sie die Reflektoren daher sauber.
Noch etwas: Achten Sie auf Ihre Kühllüfter. Da Sie mehr Energie in einen kleineren Bereich leiten, kann der Wafer überhitzen, wenn die Geschwindigkeit des Transportsystems nicht korrekt eingestellt ist. Überwachen Sie also genau die Dauer, für die die Wärme auf dem Wafer bleibt.