Warum wir auf die Infrarotbehandlung für bleifreie Chips umsteigen Der Trend hin zu „grünen“, bleifreien Halbleiterfabriken ist nicht nur eine...

Warum wir jeden einzelnen Heizelement prüfen – und warum das für Sie wichtig ist Im Bereich der Waferheizung sind die Grenzen äußerst eng. Ein...

Warum wir auf die Infrarot-Härtung für Wafer umsteigen In letzter Zeit gibt es einen starken Trend hin zur Infrarot-Härtung. Das ist durchaus logisch...

Verhindern Sie, dass Ihr Aushärtungssystem zu einem riesigen Heizgerät wird Das Problem mit Infrarotlampen ist folgendes: Ohne Reflektor...

Sicheres Arbeiten mit Infrarotheizungen zur Waferreinigung Seien wir ehrlich: Infrarotlampen in Geräten unterzubringen, die mit brennbaren oder...

Einführung Kommen wir direkt zum Punkt. Bei der Oxidation von Halbleiterwafern ist das Heizelement nicht einfach nur ein weiterer Bestandteil des...

Im Bereich der Lithografie kann es sehr schnell zu Problemen kommen – schon eine Abweichung von einem halben Grad bei der Temperaturführung hat...

Im Endeffekt hängt die Qualität des gesamten Nachspülvorgangs davon ab, wie gut die anschließende Trocknungsphase abläuft. Wenn die...

In der Lithografie ist eine Abweichung von einem halben Grad Celsius während des Weich- oder Hartbrennvorgangs keineswegs eine „kleine Fehlermenge“....

Auf der Lithografiestraße reicht bereits eine Verschiebung von einem halben Grad während des „Soft Bake“-Prozesses aus, um ein kontrolliertes Profil...

Auf der Produktionsfläche ist ein Wafer, der aus dem Reinigungsprozess kommt, erst dann wirklich sauber, wenn er völlig trocken ist. Jegliche...

Watch a 300mm wafer come out of the final rinse. If any water remains on the surface, it rides straight into the photoresist bake—and that moisture...