Beim Trocknen von Katalysatoren für Brennstoffzellen geht es nicht nur um das Erhitzen des Katalysators – es handelt sich dabei vielmehr um eine Frage des Wärmemanagements. Ein zu heißer Punkt oder eine zu kalte Stelle können dazu führen, dass die Aktivität des Katalysators abnimmt, seine Homogenität beeinträchtigt wird und der Ertrag sinkt. Wir haben unsere NIR-Trocknungsleuchten genau unter Berücksichtigung dieser Realitäten entwickelt: Sie gewährleisten eine präzise Temperaturregulierung auf Wafer-Ebene – was wiederum eine hohe Wiederholgenauigkeit bei der Verarbeitung von Brennstoffzellkatalysatoren ermöglicht.
Der technische Kern dieser Leuchten besteht aus kurzwelligem Infrarotlicht sowie einem Quarzkörper. Dadurch wird eine schnelle, kontaktlose Erwärmung erreicht – ohne dass es zu Partikelauswürfen kommt. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche des Substrats beträgt ±0,1°C. Zudem werden Materialien verwendet, die für Reinraumbedingungen geeignet sind und den Anforderungen der Klasse 1–100 entsprechen. Dadurch wird eine stabile Leistung über 5.000 Stunden hinweg gewährleistet – mit einer Abweichung von weniger als 5%. Zudem werden die Erwärmungsprofile innerhalb einiger Grad wiederholt – sodass jede Charge dieselben thermischen Bedingungen erfährt.
Warum funktioniert das bei der Trocknung von Katalysatoren? Dadurch werden Lösungsmittel entfernt, ohne dass die Struktur des Katalysators beschädigt wird oder Spannungen entstehen. Unsere Leuchten verkürzen die Bearbeitungszeit, indem sie kontrollierte Energieenergien je nach Bedarf abgeben – ohne Verzögerungen durch Aufwärmzeiten. Der Vorteil ist eine bessere Kontrolle der Dicke des Katalysators, weniger Ausschuss sowie geringerer Energieverbrauch – schließlich wird die Wärme genau dort abgegeben, wo es gewünscht ist. Für Prozessingenieure bedeutet das größere Möglichkeiten bei der Prozesssteuerung sowie weniger Probleme.
Ein paar praktische Hinweise: Die Leuchte ist zwar kompakt, doch der Abstand zu anderen Komponenten ist wichtig. Wenn man sie in bestehende Anlagen integrieren möchte, muss zunächst eine gründliche Überprüfung erfolgen – bezüglich Spannung, Anschlussinterface und Abgaswege. Wenn man in engen Räumen mit voller Leistung arbeitet, muss man bereits im Voraus auf eine ausreichende Kühlung achten. Man sollte die Leuchte genauso behandeln wie jeden anderen Lithografiemodul: Die Spezifikationen müssen übereinstimmen, das Verhalten der Leuchte muss überprüft werden – anschließend kann sie eingesetzt werden.