Sicheres Arbeiten mit Infrarotheizungen zur Waferreinigung
Seien wir ehrlich: Infrarotlampen in Geräten unterzubringen, die mit brennbaren oder explosiven Reinigungsmitteln gefüllt sind, ist eine beunruhigende Vorstellung. Ein kleiner Funke oder eine winzige Rissbildung im Gehäuse der Lampe kann dazu führen, dass das Gerät nicht nur kaputtgeht – es kann sogar zu einer Katastrophe kommen.
Wir lösen dieses Problem damit, die elektrischen Komponenten in einer Art „Festung“ einzuschließen. Wir verwenden spezielle Verpackungs- und Versiegelungsmaterialien, damit Chemikalien und Elektrizität niemals in Berührung kommen können.
Das Geheimnis liegt in der Versiegelung
Wir begnügen uns nicht einfach damit, die Lampe zu verpacken. Es handelt sich dabei um einen mehrstufigen Prozess. Zuerst wird die Lampe in ein hochreines Quarzgehäuse eingebettet. Anschließend werden alle Teile mit chemikalienresistenten Dichtungen sowie speziellen Epoxidharzen abgedichtet – genau dort, wo die Kabel miteinander verbunden sind. Dadurch können flüchtige organische Verbindungen nicht in die elektrischen Verbindungen eindringen. Wir verwenden nur Materialien, die aggressiven Lösungsmitteln standhalten können, ohne zu zerfallen oder seltsame Gase freizusetzen. Es geht dabei um Sicherheit.
Vermeidung von Funken
In explosiven Umgebungen ist Wärme zwar ein Problem – doch der eigentliche Feind sind Funken. Schon ein einziger Funke reicht aus. Deshalb achten wir sehr darauf, dass keine leitfähigen Teile mit der Luft in Berührung kommen. Die Verpackung umhüllt vollständig die Leitungskabel sowie die Lötstellen. Wenn es keine offenen elektrischen Kontakte gibt, gibt es auch keine Funken. So einfach ist das.
Der Kompromiss
Aber es gibt einen Nachteil: Wenn man eine Schutzschicht zwischen dem Filament und dem Wafer einsetzt, geht etwas von der ursprünglichen Wärme verloren. Der Strahlungswärmetransport nimmt etwas ab – im Vergleich zu einer Lampe, die frei im Raum steht. Das ist jedoch kein Problem. Man muss einfach die LeistungsEinstellungen anpassen oder den Wafer etwas länger in der Lampe lassen, bis die gewünschte Temperatur erreicht ist.
Praktische Zuverlässigkeit
Diese Lampen sind darauf ausgelegt, Belastungen standzuhalten. Wir haben gesehen, wie sie Chemikalienbeschädigungen überstanden haben – während normale Lampen in solchen Situationen sofort ausfallen würden. Wir führen bei jedem Gerät Lecktests durch, denn wir wissen, wie intensiv die thermischen Bedingungen in Halbleitergeräten sind. Wenn die Versiegelung versagt, geht die Lampe schnell kaputt. Deshalb legen wir mehr Wert auf die Integrität der Versiegelung als auf eine höhere Leistung. Es ist besser, eine Lampe zu haben, die zuverlässig funktioniert – auch wenn sie etwas kühler ist – als eine Lampe, die zwar etwas heißer ist, aber Risiken birgt.