Im Bereich der Lithografie kann es sehr schnell zu Problemen kommen – schon eine Abweichung von einem halben Grad bei der Temperaturführung hat Auswirkungen auf die kritischen Dimensionen der Wafer. Wenn außerdem die Lampe während des Prozesses ausfällt, kommt der Prozess völlig zum Stillstand. Die tatsächlichen Kosten einer Infrarotlampe liegen nicht nur im Kaufpreis selbst – sondern auch in den unplanmäßigen Stillständen, den verschwendeten Wafern sowie in den Ressourcen, die für die Aufrechterhaltung der Stabilität benötigt werden.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben diese NIR-Lampen so konstruiert, dass sie mit einem Kurzwellen-Infrarotstrahler arbeiten, der auf die Absorption durch den Fotolack abgestimmt ist. Dadurch wird eine schnelle und vorhersehbare Temperaturerhöhung auf dem Wafer erreicht. Wir gewährleisten eine Temperaturhomogenität von ±0,1°C auf dem gesamten Wafer. Die Wiederholgenauigkeit wird durch die Geometrie der Lampe, die Leistungssteuerung sowie die Stabilität der Strahlungsintensität gewährleistet. Die Montage erfolgt in einem Reinraum der Klasse 1–100 – dabei werden Materialien und Verbindungen so gewählt, dass Partikelbildung minimiert wird. In der Praxis bedeutet das weniger Defekte und ein stabiles Temperaturprofil, das man auch dann noch verlassen kann, wenn die Prozessbedingungen schwierig sind.
Warum diese Lampen auch rund um die Uhr funktionieren
Der Prozess muss 24/7 weiterlaufen – egal ob um 2:00 Uhr oder 8:00 Uhr. Diese Lampen sind für einen kontinuierlichen Betrieb ohne unplanmäßige Ausfälle konzipiert: Mehr als 5.000 Stunden Betriebszeit mit weniger als 5% Leistungseinbruch. Dadurch bleiben die Temperaturen stabil, die Kontrolle über die Waferdimensionen bleibt zuverlässig – und es gibt weniger Unterbrechungen durch Austausch der Lampen. Die Kosten pro Stunde sinken, da keine weiteren Reparaturen oder Kalibrierungen notwendig sind – außerdem bleibt die Wartung vorhersehbar.
Die Details, die Probleme verursachen, wenn man sie ignoriert
Die Leistung der NIR-Lampen hängt davon ab, ob der Heizmodul, die Stromversorgung und der optische Weg optimal aufeinander abgestimmt sind. Die Montage toleranzen sind sehr gering – die Lampe muss genau auf der Waferfläche ausgerichtet sein, damit die gewünschte Homogenität erreicht wird. Es ist daher wichtig, eine ordnungsgemäße thermische Befestigung zu gewährleisten – außerdem muss die Anordnung der Lampen genau zu der des Befestigungssystems passen. Andernfalls entstehen Hotspots, selbst wenn die Lampe selbst den Anforderungen entspricht.