에릴리토메트리 웨이퍼 프로브 히터

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정 중에 단지 0.5도만큼의 변동이 있어도, 정밀하게 제어된 포토레지스트의 두께가 변할 수 있습니다. 엘립소메트리 웨이퍼 프로브 히터는 바로 그러한 변동을 사전에 방지하기 위해 만들어졌습니다. 이 장치는 웨이퍼 건조, 포토레지스...