화학 세정 구역에서 램프를 안정적으로 유지하는 방법 솔직히 말해서, 가연성 화학물질이 있는 곳에서 적외선 히터를 사용하는 것은 매우 위험한 일입니다. 작업장에 폭발성 기체가 가득할 때, 일반적인 석영 램프는 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 조금만 스...

리소그래피 공정에서 포토레지스트를 가열하는 것은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 치명적인 치수 제어를 위한 핵심적인 과정입니다. 소프트 베이크의 경우 온도가 2°C만 변해도 회로선의 형태가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 우리는 이러한 변동성을 줄이기 위해 트...