진공 상태에서의 청결 유지 방법
클래스 100급 청정실이나 고진공 챔버에서 워크피스를 가열할 때, 단 한 점의 먼지나 아주 작은 양의 기체만으로도 전체 제품이 망가질 수 있다는 것을 잘 알고 계실 것입니다.
일반적인 IR 램프는 이러한 환경에 적합하지 않습니다. 대부분의 IR 램프는 저렴한 접착제나 저품질의 유리로 만들어져 있어, 열이 가해지자마자 기체가 새어 나옵니다. 이로 인해 웨이퍼가 손상되고 많은 시간이 낭비됩니다.
재료의 중요성
우리는 램프의 관으로 고순도의 융합된 규소를 사용합니다. 이는 일반적인 석영과는 다른 재질입니다. 불순물 함량이 매우 낮기 때문에, 램프가 열로 인해 팽창하거나 수축할 때도 미세한 입자가 발생하지 않습니다.
또한, 조립 과정에서 모든 유기계 결합제와 접착제를 제거합니다. 모든 부품들은 사용하기 전에 철저히 소독됩니다. 그렇게 하면 휘발성 유기화합물(VOCs)이 진공 상태로 유입되어 환경이 오염되는 것을 방지할 수 있습니다.
진공 환경에서의 문제점
진공 상태에서는 램프가 실외에서와는 다르게 작동합니다. 열을 배출할 공기가 없기 때문에 램프의 외부가 매우 뜨거워집니다. 따라서 쿨링 시스템이 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다. 만약 단자 부분에 적절한 방열 장치가 없다면, 램프가 과열되어 손상될 수 있습니다.
우리는 텅스텐 필라멘트와 석영 사이의 밀봉 상태에 많은 신경을 씁니다. 진공 환경에서는 아주 작은 구멍만으로도 램프가 고장나는 것뿐만 아니라, 챔버 전체가 오염될 수 있습니다.
문제 없이 설치하는 방법
램프를 연결할 때는 플라스틱 클립이나 PVC로 코팅된 선들은 사용하지 마세요. 이러한 재료들은 금방 녹아서 기체가 새어 나옵니다. 대신 PTFE나 스테인리스 스틸로 된 재료를 사용하세요.
가장 좋은 점은, 이러한 램프들이 직접적인 복사열을 이용한다는 것입니다. 즉, 주변의 공기가 아닌 워크피스 자체를 가열합니다. 청정실에서는 이것이 큰 장점입니다. 왜냐하면 바닥의 먼지가 날리는 것을 줄여주기 때문입니다.
이렇게 하면 원하는 정도의 온도 조절이 가능하며, ISO 등급도 그대로 유지됩니다.