ランプの爆発を心配する必要はありません：ウェーハを守るためのより良い方法
半導体工場において、ランプが壊れると大変な問題です。単に生産が停止するだけではありません。もし石英管がシリコンウェーハの上で割れてしまうと、至る所にガラスの破片や化学物質が散乱してしまいます。これはウェーハの品質にとって大きな障害となります。
私たちは、生産を最大限に進めている状況でも、このような事態を防ぐために、金メッキされた赤外線ランプを開発しました。
なぜ金メッキが重要なのか
一般的な石英ランプは、熱をあらゆる方向に放出します。これは無駄なのです。そこで、管の裏側に薄い金の層を加えることで、その問題を解決しました。
まるで鏡のように、金の層が赤外線エネルギーをウェーハに直接伝えます。これにより、必要な場所により集中した高密度の熱が得られます。
さらに、金は銀やアルミニウムよりも赤外線を反射する能力が優れています。つまり、目標温度に到達するのが早くなるのです。簡単なことです。
管が破裂しないようにするための対策
高負荷の運転では、多大なストレスがかかります。温度が急激に変化すると、石英が割れてしまう可能性があります。
これを防ぐために、高純度の合成石英を使用しています。これにより、安価な石英ほど膨張や収縮が起きにくくなります。また、電極部分の密封にも細心の注意を払っています。ほとんどのランプは、この部分が弱ってしまい破損してしまいます。私たちはその部分を強化し、管が圧力に耐えられるようにしました。
トレードオフについて
ワット数が多ければ多いほど、ライン内で動く部品の数も増えますが、それによって電源や冷却装置にも大きな負担がかかります。
これらのランプをフル稼働させる場合、風量を適切に調整する必要があります。もしランプの端々に十分な空気が届かなければ、熱がコネクタ内部に戻ってしまいます。これは早期の故障につながります。
私たちが設計したのは、クリーンルームで簡単に交換できるランプです。24時間365日の連続稼働にも耐えられるように作られているので、ウェーハが安全であると安心して眠ることができます。