מכשיר למדידת מתח פני השטח של שבבים

בליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה צלזיוס במהלך תהליך החימום אינו נחשב ל”שגיאה קטנה”. שינוי כזה גורם לשינוי בתכונות הפוטורזיסט, מפריע לשליטה בממדים...