בליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה צלזיוס במהלך תהליך החימום אינו נחשב ל”שגיאה קטנה”. שינוי כזה גורם לשינוי בתכונות הפוטורזיסט, מפריע לשליטה בממדים החשובים, וגורם לכך שהתוצאות לא יהיו ברמה הרצויה. בייצור, זה מתבטא בפסולת, צורך בעבודות תיקון, ועיכובים בלוח הזמנים. יצרנו את המערכות למדידת מתח פני השטח של הוואפר, כדי למנוע שינויים תרמיים עוד לפני שהם מגיעים לוואפר.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים ברכיבי אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, בעלי מבנה על בסיס קוורץ – כך שהחום מועבר במהירות ובצורה נקייה, ללא סיכון של חלקיקים. בכל אזור הפעילה, האחידות של הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזרתיות של התהליך נשארת קבועה מראייה לראייה. המערכת מיועדת לשימוש בחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100; היא משתמשת בחומרים עם פליטה נמוכה של גזים, וכן במשטחים עם רמת חלקיקים נמוכה. המערכת יכולה להתאים למקומות הקיימים, ולתפקד בתיאום עם המערכות הקיימות.
זו הסיבה שהמערכת יעילה בעיבוד פוטורזיסט: כל התהליכים רגישים לטמפרטורה. הסרת הממסים, הוויסקוזיטה ומתח פני השטח כולם תלויים בטמפרטורה ובזמן. אם נשלוט בטמפרטורה, נוכל להשיג רוחב קווים והתנהגות קצוות צפויים. התוצאה היא פחות שינויים, שליטה טובה יותר, ופחות פסולת. שליטה מהירה בטמפרטורה ופעולה יציבה גם הם עוזרים לחסוך באנרגיה. היעדים של אמינות המערכת הם 24/7.
ההיבטים המעשיים ההתקנה כוללת התאמת ההספק ואותות השליטה לפלטפורמה הרלוונטית, ולאחר מכן התאמת נקודות השליטה התרמיות לשכבות הפוטורזיסט. המערכת פועלת בצורה הטובה ביותר כאשר מוודאים את אטימות החדר ואת זרימת האוויר – אחרת עלולים להיווצר שינויים תרמיים באזורים מסוימים. יש לתכנן את ההתקנה מראש, ולוודא שהמערכת עובדת כראוי לפני התחלת הייצור בקנה מידה גדול.