נורה עם שני צינורות מצופה בזהב
שמירה על יציבות המנורות באזורי ניקוי כימי
בואו נהיה כנים: שימוש במחממים באור אינפרא-אדום ליד חומרים דליקים הוא משימה מלחיצה מאוד. כאשר החדר מלא באדים...
נורת חימום UHP (אולטרה טהורה)
שליטה בטמפרטורה במפעלי שבבים אם אתם עובדים במפעלי שבבים, אתם מכירים את האיום שבנקודת זיהום אחת שעלולה להרוס את כל הוואפר. זה בדיוק המקום בו נכנסים...
מנורת אינפרא אדום ללא חומרי אוזון
שמירה על הבטיחות באמצעות להבי אינפרא-אדום ללא אוזון באזורים כימיים
אם אתם מנהלים קו ניקוי כימי, אתם כנראה יודעים מה עלול לקרות. אתם עובדים עם חומרים...
מגן זכוכית קוורץ למנורת ייצור
שמירה על ניקיון: למה אנו משתמשים בקוורץ ברמת טוהר גבוהה לחימום במעבדות
כאשר עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, החימום אינו רק עניין של הגדלת הטמפרטורה –...
עלות נורת החימום באמצעות קרינה אינפרא אדומה
בחדרי הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, הדברים יכולים להשתנות במהירות. אפילו שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של...
מנורת ייבוש של וופרים לאחר הניקיון
בשלב הרחצה שלאחר הניקוי, איכות התהליך תלויה בעיקר בשלב הייבוש שמתבצע לאחר מכן. אם השליטה בטמפרטורה אינה טובה, עלולים להופיע סימני מים, גרדיאנטים במתח...
נורה חלופית למערכת RTP
באזור הייצור, שינויי הטמפרטורה ב-RTP לא נראים רק על הגרף – הם מתבטאים גם בשגיאות בתהליך העיבוד של הפוטורזיסט. כאשר הנורה מתחילה לתפקד בצורה לא...
נורת מייבש וופרים בעלת יעילות גבוהה
צפו בפרוסת ופר 300mm יוצאת מהשטיפה הסופית. אם נשארת מים על המשטח, הם עוברים ישירות לתהליך האפייה של הפוטורזיסט — והלחות הזו מתורגמת לפגם. בחדר נקי...