חימום פרובה למדידת אליפסומטריה של שבבים

בשלב הליתוגרפיה, סטייה של חצי מעלה במהלך תהליך החימום הרך יכולה לגרום לשינוי בעובי שכבת הפוטורזיסט. לכן, נוצר מחמם מיוחד שנועד למנוע סטיות אלו. המחמם...