在使用红外线加热技术进行晶圆清洗时，如何确保安全呢？
说实话，将红外线灯置于含有易燃或易爆化学物质的环境中，实在是一件令人担心的事情。只要有一点点火花，或者灯壳出现细微裂缝，那就不仅是工具损坏的问题了，而是可能引发灾难。
为了解决这个问题，我们会在电路部件周围构建一个“防护层”。我们采用特殊的封装和密封技术，确保化学物质与电能不会发生接触。
关键在于密封性
我们并不只是简单地给灯泡加上保护层而已。这是一个多步骤的过程：首先，灯泡会被放入高纯度的石英外壳中；然后，我们会用耐化学腐蚀的垫圈以及特定的环氧树脂来固定所有连接点。这样就能防止挥发性有机化合物进入电路连接处。我们只使用那些能够承受强效溶剂而不发生分解或释放有害气体的材料。这样才能确保安全。
防止火花产生
在易爆环境中，热量固然是个问题，但真正的隐患在于电弧。只需一个小火花就足以引发灾难。因此，我们非常注重电路的连接方式。我们确保没有带电部件直接暴露在空气中。封装结构能够完全包裹住引线及焊接点。如果没有裸露的电流，就不会有火花产生。就这么简单。
权衡利弊
不过，这样做也有一些缺点。当在灯丝和晶圆之间加入保护层后，灯泡发出的热量会有所减少。与直接暴露在空气中的灯泡相比，其辐射热通量会略有下降。不过这并不是无法解决的问题。只需调整功率设置，或者让晶圆多等待几秒钟，就能达到所需的温度。
实际可靠性
这些灯泡设计得非常耐用。我们见过它们在化学物质溅射的情况下依然能正常工作，而普通灯泡则可能在几秒钟内就损坏了。我们会对每一台灯泡进行泄漏测试，因为我们知道半导体生产环境中的温度变化有多么剧烈。如果密封失效，灯泡就会很快损坏。因此，比起追求更高的功率，我们更注重密封性的完好性。与其使用功率稍高但存在风险的灯泡，不如选择那种性能稳定可靠的灯泡。