Як зберегти чистоту: чому ми використовуємо кварц високої чистоти для нагріву обладнання
Коли ви працюєте у приміщенні класу чистоти 100, нагрівання – це не просто про підвищення температури. Це постійна боротьба з частинками пилу.
Стандартні елементи нагріву є справжньою проблемою в таких умовах. Вони випускають у повітря частинки свого складу, а також леткі органічні сполуки, які можуть зруйнувати цілу партію пластин за кілька секунд. Щоб уникнути цього, ми розміщуємо інфрачервоні лампи за захисними экранами з кварцу високої чистоти.
Ось чому це насправді важливо.
Більшість видів скла містить такі домішки, як бор чи натрій. При високих температурах ці домішки починають переміщуватися. Це не дуже добре, коли потрібно зберegти пластини в ідеальному стані. Ми використовуємо сплав діоксиду кремнію, оскільки він надзвичайно чистий, тож нічого не може витікати назовні.
Крім того, цей матеріал чудово переносить термічні навантаження. Можна швидко підвищити температуру ламп, не хвилюючись про те, що захисний экран може тріснути під тиском.
Але матеріал – це лише половина речі. Справжній секрет полягає у обробці поверхні кварцу. Ми поліруємо його до стану дзеркала. Чому? Тому що мікроскопічні впадини та тріщини є своєрідними „магнітами“ для пилу. Гладка поверхня означає, що частинки пилу не мають можливості сховатися. Коли лампи підключені, захисний экран слугує своєрідною стіною, яка запобігає витоку тепла та захищає обладнання від забруднень.
Але є одна проблема. Кварц високої чистоти дозволяє проходити короткохвильовому інфрачервоному світлу, але він не є ізолятором. Тож тепло буде накопичуватися саме там, де ви його хочете отримати, але сам корпус обладнання також буде нагріватися.
Потрібно ретельно продумати систему охолодження. Незалежно від того, чи використовуються вентилятори чи системи охолодження з водяними щитками, необхідно мати план для подолання цього ефекту. Якщо потік повітря занадто слабкий, це може призвести до перегріву ламп та конекторів.
Ми розробляємо ці елементи так, щоб вони можна було легко замінити. Адже у високотехнологічних умовах навіть одна дрібна частинка пилу може призвести до провалу усього процесу.