На виробничій лінії зміна температури під час сушіння пластини чи випалювання фотолегового шару є не просто погрішністю на графіку SPC. Це означає втрату продуктивності. Ми створили нашу систему нагріву за допомогою короткочастотного інфрачервоного випромінювання – цей метод забезпечує стабільне та швидке нагрівання поверхні пластини без необхідності її фізичного дотику.
Що є важливим Енергія короткочастотного інфрачервоного випромінювання швидко проникає крізь пластину та нагріваючу стрічку, тож досягається потрібна температура швидко та стабільно. Рівномірність температури по всій поверхні пластини становить ±0,1°C, що дозволяє зберігати точні розміри після обробки. Система забезпечує ефективне нагрівання як у м’яких, так і у жорстких умовах, завдяки чому зменшується варіабельність фотолегового шару.
Система підходить для використання в чистих приміщеннях класу 1–100 – вона використовує матеріали з низьким вмістом частинок та має таку конструкцію, що зменшує виділення газів. Нагрівачі працюють цілодобово при високій температурі, а їхнія характеристики залишаються стабільними протягом тисяч циклів.
Чому це підходить для процесу Після процедур очищення необхідна сушка пластини, а після нанесення фотолегового шару – його випалювання. Короткочастотне інфрачервоне випромінювання забезпечує потрібне нагрівання в потрібний момент, що скорочує час обробки та зменшує споживання енергії, при цьому зберігається рівномірність температури. Це дозволяє краще контролювати розміри пластини, зменшувати кількість необхідних корекцій та забезпечувати стабільну продуктивність.
Інтерфейс між пластиною та нагріваючою стрічкою залишається стабільним протягом багатьох циклів, що забезпечує стабільний тепловий контакт.
На що потрібно звернути увагу Короткочастотне інфрачервоне випромінювання потребує прямого контакту з поверхнею пластини; тому стрічка повинна мати однакову товщину та здатність до прилипання по всій поверхні пластини. Інакше можуть виникнути місця надмірного нагріву. Необхідно також контролювати потік повітря та уникати впливу зовнішніх факторів.
Ми надаємо інструкції щодо вибору та закріплення нагріваючої стрічки. Рекомендуємо провести кілька тестів перед початком повноцінної роботи системи.