На поверхні плати RTP відхилення температури не проявляються лише на графиках – вони також проявляються у формі похибок під час обробки фотополімеру. Коли лампа починає погано працювати, теплова однорідність порушується, і тим самим зменшується можливість ефективної обробки. Ми створили ці замінні лампи для того, щоб забезпечити стабільні теплові умови протягом усього процесу обробки, без жодних проблем.
Що є важливим у конструкції лампи
Ми використовуємо галогенні елементи з точно визначеною геометрією нитки та короткохвильовим випромінюванням, щоб енергія ефективно передавалася на пластину. Кварцовий корпус лампи є надзвичайно чистим та стабільним до впливу радіочастот, тож лампа може працювати в умовах класу 1–100 без підвищення кількості частинок. Ефективність лампи залишається стабільною протягом 5,000+ годин, а відхилення температури є настільки мінімальними, що це дозволяє контролювати теплові умови та параметри обробки.
Чому це важливо у процесі літографії та обробки фотополімеру
Під час процедур „м’якого“ та „жорсткого“ випалювання необхідно підтримувати точну температуру для контролю процесу видалення розчинників та створення правильного напруження у шарі фотополімеру. Наші лампи забезпечують однорідність температури на рівні ±0,1°C, що дозволяє зберігати стабільність ширини ліній, зменшувати кількість дефектів та підвищувати ефективність процесу. Стабільний спектр випромінювання також забезпечує точність контролю температури, що дозволяє отримувати стабільні результати протягом усього процесу. Енергоспоживання лампи оптимізоване, а довгий термін служби дозволяє зменшити кількість замін ламп, що сприяє ефективному функціонуванну всього обладнання.
Практичні деталі
Встановлення лампи є простим, але необхідно підібрати її під конкретну геометрію камери RTP та наявні кріплення для ламп. Потрібно перевірити тип з’єднання, довжину дуги та провести kalibraciju температурного профілю після заміни лампи. Першу kalibraciju слід провести через 100 годин роботи лампи, щоб забезпечити стабільність процесу обробки фотополімеру.