Під час процедури промивання якість результату залежить від ефективності наступного кроку – сушіння. Якщо контроль температури є недостатньо точним, можуть з’явитися сліди води, нерівномірності на поверхні та мікрозабруднення. Ми розробили модуль для сушіння пластин так, щоб усунути ці проблеми після очищення. Таким чином, пластина потрапляє на стадію літографії зі стабільною, сухою поверхнею та передбачуваними параметрами температури.
Що насправді має значення Модуль поєднує джерела інфрачервоного випромінювання короткої та середньої довжини хвилі в одному корпусі, що сприяє швидкому та селективному нагріванню поверхні. Ми забезпечуємо стабільність температури на рівні ±0,1°C по всій поверхні пластини, а просторова однорідність також знаходиться в межах цього діапазону. Корпус модуля придатний для використання в чистих приміщеннях класу 1; матеріали, з яких він складається, виділяють мінімум газів, а система подачі повітря контролює кількість частинок, що запобігає їх утворенню під час роботи. Інтенсивність світла налаштовується так, щоб швидко видалити залишки рідини, не перевищуючи при цьому температурні параметри фотополімеру.
Чому цей модуль ідеально підходить для процесу Після очищення необхідна суха, чиста пластина перед процедурою нанесення фотополімеру та його висушування. Цей модуль дозволяє швидко висушити пластину, тож час обробки скорочується без негативного впливу на температурні параметри пластини. Процеси м’якого та жорсткого висушування залишаються стабільними, оскільки поверхня пластини є однорідною – немає прихованої води, яка могла б вплинути на процес випаровування розчинника. Це покращує повторюваність процесу та зменшує кількість непланових зупинок, адже модуль розроблений для 24/7 роботи зі стабільною продуктивністю протягом понад 5 000 годин.
Які поради будуть корисні згодом Під час встановлення необхідно точно вирівняти модуль відносно вихлопної системи процесної камери та переконатися у стабільності напруги на клемах модуля. Інтенсивність світла залежить від положення модуля, тож необхідно її встановити один раз, задокументувати та зафіксувати. Модуль працює найкраще, коли вологість у чистому приміщенні залишається в заданих межах; поза цими межами час сушіння збільшується. Необхідно регулярно калібрувати інтенсивність світла, щоб зберегти точність ±0,1°C, що є ключовим параметром для ефективного сушіння.