あなたの硬化処理システムが巨大なヒーターに変わってしまうのを防ぎましょう。
赤外線ランプの問題点は、反射器がないと、まるでラジエーターのように機能してしまうことです。つまり、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。
もしあなたがその設計責任者なら、それは大変な問題です。高ワット数のランプを硬化処理室に設置すると、ウェーハに当たらないエネルギーはすべて機械の内壁に当たってしまいます。そうなると、高価な機械本体がヒートシンクのように機能してしまいます。やがて、外側のパネルが高温になり、作業員が火傷を負う危険もあります。これは良くありません。
熱を適切な場所に送る方法
解決策は非常に簡単です。そのランプに精密な反射器を組み合わせるのです。これは、単なる電球ではなく、懐中電灯の光を集中させるようなものです。反射器は光を単に跳ね返すだけでなく、そのエネルギーを一点に集中させます。
焦点を制御すれば、熱はウェーハの表面に留まります。そうすれば、「無駄な熱」が機械の内部に入り込むのを防げます。温度もコントロールしやすくなり、壁面も冷たく保たれます。そうすれば、作業員も安心して機械のフレームに触れることができます。
注意点と対処法
ただし、いくつかの問題点があります。ほとんどの反射器は、短波長の赤外線を効果的に利用するために、高純度のアルミニウムや金のコーティングを使用しています。これらは非常に効果的ですが、使い方に気を使う必要があります。
表面にほこりや化学物質が付着すると、効率が低下します。反射器が熱を押し出す代わりに吸収し始めるため、チャンバー内の温度が上昇してしまいます。ですから、反射器を常に清潔に保つ必要があります。
もう一つ、冷却ファンにも注意が必要です。より多くのエネルギーを狭い範囲に集中させるため、コンベヤーの速度が不適切だとウェーハが過熱する可能性があります。ですから、ウェーハが滞在する時間をしっかりと管理する必要があります。