ウェーハの洗浄に赤外線加熱を利用する際の安全性の確保
正直に言って、可燃性や爆発性のある洗浄剤が入った装置の中に赤外線ランプを取り付けるのは、とても危険なことです。ほんのわずかな火花やランプの筐体に微細なひび割れが生じただけで、装置が壊れるだけでなく、大惨事につながりかねません。
私たちは、電気部品をしっかりと守るための対策を講じています。特殊な封止材を使用して、化学薬品と電気が接触しないようにしています。
秘密は封止処理にあります
単にランプを包むだけでは不十分です。複数の工程を経て処理を行います。まず、ランプを高純度の石英製のケースに入れます。その後、配線部分には耐薬品性のあるガスケットや特殊なエポキシ樹脂を使用して、すべてをしっかりと封じ込めます。これにより、揮発性有機化合物が電気接続部に入り込むのを防ぎます。私たちは、腐食したり、異常なガスを放出したりしない材料のみを使用します。これにより、安心して使用できます。
火花の防止
爆発的な環境では、熱も問題ですが、本当の敵はアークです。ほんのわずかな火花でも十分です。
そのため、私たちは配線に特に注意を払っています。接続部が空気に触れないようにしています。封止処理によって、配線やはんだ接合部が完全に覆われます。電気が露出しなければ、火花も発生しません。これはごく簡単なことです。
デメリット
ただし、フィラメントとウェーハの間に保護層を設置すると、熱が少し失われます。屋外に置かれたランプと比べると、放射される熱量が少なくなります。
しかし、それは致命的な問題ではありません。パワー設定を調整したり、ウェーハを数秒間待たせるだけで、目標の温度に到達できます。
実際の信頼性
これらのランプは、厳しい環境に耐えられるように作られています。通常のランプなら数秒で故障してしまうような化学薬品の飛沫にも耐えられます。
半導体製造装置の中では、熱サイクルが非常に厳しいため、すべての装置に対して漏れ試験を行っています。封止処理が失敗すると、ランプはすぐに壊れてしまいます。そのため、私たちは単に出力を上げるよりも、封止処理の精度を重視しています。わずかに高温になっても、危険が伴うよりは、安定して動作するランプの方が良いのです。