クリーンを保つために：なぜファブ内の加熱に高純度の石英が使われるのか
クラス100のクリーンルームで作業する際、加熱というのは単に物を温めるだけではありません。それは、粒子との絶え間ない戦いでもあるのです。
通常の加熱素子は、このような環境では大敵です。それらは自体から微粒子を放出し、揮発性有機化合物（VOC）も漏れ出します。これにより、ワイフェアが数秒でダメになってしまいます。そうならないように、私たちは赤外線ランプを高純度の石英製のシールドの後ろに配置しています。
なぜこれが重要なのかというと、ほとんどのガラスにはホウ素やナトリウムといった不純物が含まれています。高温になると、これらの不純物が移動し始めます。ワイフェアを清潔に保ちたいのであれば、これは好ましくありません。私たちは非常に純度の高い融結シリカを使用しているので、何も漏れ出ることはありません。
さらに、融結シリカは熱衝撃にも強いです。高ワット数のランプを使っても、シールドが破損する心配はありません。
しかし、材料だけが全てではありません。本当の鍵は表面処理にあります。
私たちは石英を鏡のように磨き上げます。なぜかというと、微細な凹みや隙間はほこりを引き寄せる原因になるからです。滑らかな表面なら、粒子が隠れる場所がありません。このようにして、シールドが壁のように機能し、ハロゲンサイクルを遮断し、フィラメントからの異物がファブ内の空気中に混入するのを防ぎます。
ただし、注意点もあります。高純度の石英は短波長の赤外線を通すのに優れていますが、断熱材としては機能しません。目標とする位置には強い熱が届きますが、ケース自体も熱くなってしまいます。
そのため、冷却には工夫が必要です。ファンを使うにしても、水冷式の支持装置を使うにしても、反射される熱を処理するための計画が必要です。空気の流れが弱すぎると、ランプの端やコネクタが焼き切れてしまいます。
私たちは、これらを簡単に取り付けられるように設計しています。高精度な生産ラインでは、わずかなほこり一つで、成功か失敗かが変わってしまうからです。