ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時の温度変動は、SPCチャート上のわずかなばらつきに過ぎません。実際には、それによって歩留まりが低下してしまいます。私たちが開発した高温用サーマルテープは、短波長の赤外線を利用しており、基板に触れることなく安定して迅速に熱を供給できます。
重要なポイント
赤外線エネルギーはウェーハやテープの層を素早く貫通するため、目標温度にすぐ到達し、その状態を維持できます。ウェーハ全体での温度均一性は±0.1℃程度であり、これにより露光後の寸法精度が保たれます。このシステムは、ソフトベイクとハードベイクの両方に対応し、厳格な温度管理を行うため、フォトレジストの再溶解によるばらつきが減少します。
また、クラス1～100のクリーンルームでも使用可能であり、粒子数が少なく、ガス放出も抑えられています。ヒーターは24時間体制で高温で動作し、何千回と繰り返しても性能が安定しています。
なぜこのシステムが適しているのか
繰り返し作業を行うためには、洗浄処理後の乾燥やスピンコーティング後の焼成が不可欠です。赤外線を利用すれば、必要な時だけ熱を供給できるため、加熱時間が短縮され、エネルギー消費も削減されます。これにより、寸法精度が向上し、再作業の回数が減り、信頼性の高い生産が可能になります。
また、テープのインターフェースは複数回の処理にわたっても安定しており、ロットごとに熱接触が一定に保たれます。
注意点
赤外線は直線的にしか伝わらないため、隙間があると効果が低下します。したがって、テープはウェーハ全体で均一な厚みと接着力を保つ必要があります。そうでないと、局部的な過熱が発生します。乱反射を防ぐために、適切な空気流れの管理や遮蔽が必要です。
私たちは、テープの選定や固定方法に関するアプリケーションノートも提供しています。本格的な使用に移る前に、まずは温度分布を確認するための簡単なテストを行うことをお勧めします。