کنترل دمای فرآیندهای تولید نیمههad
اگر در کارخانههای تولید نیمههاد کار میکنید، میدانید که چقدر خطرناک است اگر حتی یک ذره آلودگی باعث خراب شدن کل ویفر شود. در چنین شرایطی، از لامپهای گرمایشی با خلوص بسیار بالا استفاده میشود. اما باید صادقانه بگوییم که روش قدیمی «تنظیم کردن و فراموش کردن» دیگر کافی نیست.
شما نیاز دارید که سیستمهای گرمایشی شما بتوانند با PLC شما در ارتباط باشند و به طور لحظهای تنظیمات لازم را انجام دهند.
جادوی موجهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا
ما از منابع تولیدکننده موجهای مادون قرمز کوتاهاموج استفاده میکنیم؛ زیرا سرعت عمل آنها بسیار بالاست. به جای هدر دادن انرژی برای گرم کردن هوای اطراف ویفر، انرژی مستقیماً وارد سطح ویفر میشود.
با تنظیم ولتاژ و فرکانس، میتوانید در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر برسید. این روش بسیار سریع است؛ و این موضوع مهم است، زیرا باعث کاهش مصرف انرژی میشود و از پخش شدن مواد ناخواسته در جاهای نامناسب جلوگیری میکند.
ساختار هوشمند سیستمهای گرمایشی
کارخانههای مدرن بر پایه دادهها کار میکنند. ما این لامپها را به سیستمهای بازخورد بسته متصل میکنیم تا دیگر نیازی به حدس زدن نباشد.
دستگاههای اندازهگیری دما، اطلاعات دمایی را به طور لحظهای به کنترلکننده ارسال میکنند؛ کنترلکننده نیز میزان توان را تنظیم میکند. این روش از وجود «نقاط کور» ناشی از لامپهای قدیمی جلوگیری میکند.
علاوه بر این، شما میتوانید یک رکورد دیجیتال از تمام چرخههای گرمایشی داشته باشید؛ این موضوع برای تعمیرات بسیار مفید است. شما میتوانید قبل از اینکه لامپ خراب شود و فرآیند تولید را متوقف کند، آن را تعویض کنید.
مشکلات مربوط به سیستمهای گرمایشی
نکته مهم این است که سیستمهای موجهای مادون قرمز با خلوص بالا، مقدار زیادی انرژی مصرف میکنند. وقتی که ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری را پردازش میکنید، بدنه لامپ بسیار گرم میشود.
شما باید سیستمهای خنککننده را به درستی تنظیم کنید؛ اگر جریان هوا کمی کاهش یابد، بدنه لامپ بیش از حد گرم خواهد شد و فیلامنتهای لامپ زودتر از حد مورد نظر خراب خواهند شد.
یک موضوع دیگر نیز وجود دارد: سیمکشی. وقتی که از سیستمهای دیجیتال استفاده میکنید، محافظت در برابر امواج الکترومغناطیسی بسیار مهم است. تغییرات فرکانسی در منابع تغذیه میتواند باعث ایجاد «سر و صدای الکترونیکی» شود؛ این موضوع میتواند سنسورهای شما را مختل کند. برای حفظ سیگنالهای درست، باید از کابلهای محافظتشده و سیستمهای زمینگیری مناسب استفاده کنید. در غیر این صورت، شما فقط در حال تلاش برای کنترل چیزهایی هستید که وجود ندارند.