در فرآیند لیتوگرافی، حتی انحراف نیم درجهای در طول فرآیند پخت ملایم، میتواند باعث تغییر در ضخامت لایه فوتورزیست شود. هیتر مورد استفاده برای اندازهگیری ضخامت وجه سیلیکونی، به گونهای طراحی شده که از ایجاد چنین انحرافاتی جلوگیری کند. این هیتر بر اساس شرایط حرارتی مربوط به خشک کردن وجه سیلیکونی، پخت اولیه فوتورزیست و پخت پس از قرار دادن وجه سیلیکونی در معرض نور، طراحی شده است؛ در این شرایط، یکنواختی دما، تأثیر مستقیمی بر ساختار دستگاه دارد.
نکات مهم در عملکرد این سیستم
این سیستم دارای یک فرستنده مادونقرمز با طول موج کوتاه است؛ همچنین، از مسیر حرارتی تثبیتشده با کوارتز برای حفظ یکنواختی دما در سطح وجه سیلیکونی استفاده شده است؛ این یکنواختی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است. تغییرات دما به سرعت اعمال میشوند؛ همچنین، خروجی سیستم در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، در محدوده ۱٪ ثابت باقی میماند؛ بنابراین میتوان از این سیستم برای کار ۲۴/۷ استفاده کرد.
چرا این موضوع در فرآیندهای تولید اهمیت دارد؟
در استفاده روزمره، این دقت باعث کاهش نیاز به تعمیرات مربوط به فوتورزیست میشود؛ همچنین، کنترل بهتر ضخامت لایه فوتورزیست، منجر به کنترل بهتر ابعاد مهم در فرآیندهای بعدی میشود. همین الگوی حرارتی ثابت، در فرآیندهای پخت سخت نیز کمک میکند تا از ایجاد ناهمواریهای ناشی از تنش حرارتی جلوگیری شود. همچنین، از انرژی نیز صرفهجویی میشود؛ زیرا فرستنده، هدف را گرم میکند، نه دیوارههای محفظه؛ همچنین، با از بین رفتن نوسانات حرارتی، بازه زمانی لازم برای انجام فرآیندها نیز افزایش مییابد.
جزئیاتی که باعث عملکرد بهتر این سیستم میشوند
نصب این سیستم مستلزم تطابق جهتگیری پروب با سطح وجه سیلیکونی است؛ همچنین، لایههای الکتریکی و فلزی موجود روی وجه سیلیکونی میتوانند مقدار دمای مورد نیاز را تغییر دهند؛ بنابراین، باید از قبل رابط نصب را برنامهریزی کرد و تنظیمات PID کنترلر را نیز متناسب با وجه سیلیکونی انجام داد. پس از تنظیم، هیتر میتواند یکنواختی لازم را در هر بار کار فراهم کند.