در کارخانههای تولید، تغییرات دما در حین خشک کردن ویفرها یا حرارت دادن فوتورزیست، صرفاً یک نوسان ساده در نمودار SPC نیست؛ بلکه منجر به کاهش بازدهی تولید میشود. ما راهحل خود را بر اساس استفاده از گرمایش با امواج مادون قرمز کوتاه طراحی کردهایم؛ زیرا این روش، گرمای پایدار و سریعی را بدون تماس مستقیم با سطح ویفر، به آن منتقل میکند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
انرژی مادون قرمز کوتاه، به سرعت از میان ویفر و نوارهای مورد استفاده عبور میکند؛ بنابراین دما به سرعت به مقدار مورد نظر میرسد. در واقع، یکنواختی دما در سراسر ویفر حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این موضوع به نوبه خود، ابعاد کلیدی ویفر را پس از عملیات تابش، در حالت پایدار نگه میدارد. این سیستم، هم عملیات حرارت دادن ملایم و هم عملیات حرارت دادن شدید را با کنترل دقیق دما انجام میدهد؛ بنابراین تغییرات ناشی از فوتورزیست کاهش مییابد.
این سیستم برای استفاده در اتاقهای تمیز در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ زیرا از موادی با میزان ذرات کم استفاده میکند و طراحی آن باعث کاهش گازهای تولید شده میشود. گرمکنها روزها و شبها در دمای بالا کار میکنند، و عملکرد آنها در هر چرخه تولید، پایدار باقی میماند.
چرا این روش مناسب است؟
برای اطمینان از تکرارپذیری فرآیند، لازم است که پس از مراحل تمیزکاری، ویفرها خشک شوند و پس از لایهپوشی، تحت حرارت قرار بگیرند. روش مادون قرمز کوتاه، گرمای لازم را در زمان مورد نیاز فراهم میکند؛ بنابراین زمان لازم برای خشک شدن ویفر کاهش مییابد و مصرف انرژی نیز کمتر میشود، بدون اینکه یکنواختی دما مختل شود. این امر منجر به کنترل بهتر ابعاد ویفر، کاهش تعداد محصولات ناموفق، و افزایش بهرهوری تولید میشود.
رابطه بین نوار و ویفر در طول چندین بار تکرار، پایدار باقی میماند؛ بنابراین تماس حرارتی نیز در هر بار تکرار، یکنواخت باقی میماند.
چه چیزهایی باید مورد توجه قرار گیرد؟
روش مادون قرمز کوتاه نیاز به خط دید مستقیم دارد و از وجود فاصله بین ویفر و نوار خوشش نمیآید؛ بنابراین نوار باید در سراسر سطح ویفر، ضخامت و چسبندگی یکنواختی داشته باشد؛ در غیر این صورت، نقاط داغی در سطح ویفر ایجاد خواهد شد. برای جلوگیری از بازتابهای ناخواسته، باید جریان هوا کنترل شود و سیستمهای محافظتی نیز استفاده شوند.
ما یادداشتهایی درباره انتخاب نوار و روش محک زدن آن ارائه میدهیم؛ همچنین توصیه میکنیم قبل از شروع فرآیند تولید، دمای سطح ویفر را اندازهگیری کنید.