جلوی تبدیل سیستم خشککن شما به یک هیتر فضایی عظیم را بگیرید!
مشکل لامپهای مادون قرمز این است که بدون وجود منعکسکننده، مانند رادیاتورها عمل میکنند؛ یعنی گرما را در تمام جهات پخش میکنند.
اگر شما مهندس مسئول باشید، این یک وضعیت وحشتناک است. وقتی یک لامپ با توان بالا را در محفظه خشککن قرار میدهید، تمام انرژی تولید شده، به دیوارههای داخلی دستگاه برخورد میکند. در نتیجه، بدنه گرانقیمت دستگاه به یک منبع گرما تبدیل میشود. قبل از اینکه متوجه شوید، پنلهای خارجی دستگاه آنقدر گرم میشوند که میتوانند کارکنان را آسیب زنند. این وضعیت خوب نیست.
راهحل:
راهحل بسیار ساده است: آن لامپ را با یک منعکسکننده دقیق همراه کنید. میتوانید آن را مانند یک فلاشلایت در نظر بگیرید؛ یعنی نور را متمرکز میکند. این کار باعث میشود گرما فقط روی سطح ویفر تأثیر بگذارد.
به این ترتیب، گرمای اضافی وارد سختافزار دستگاه نمیشود. دمای داخل دستگاه کنترل میشود، دیوارهها خنک باقی میمانند، و کارکنان میتوانند بدون نگرانی از سوختگی، به بدنه دستگاه دست بزنند.
مشکلات و راهحلهای آنها:
البته، یک معایبی وجود دارد. اکثر این منعکسکنندهها از آلومینیوم یا طلا با خلوص بالا برای به دست آوردن بهترین نتایج استفاده میکنند؛ اما آنها نیاز به نگهداری دقیق دارند. اگر گرد و غبار یا مواد شیمیایی روی سطح منعکسکننده تجمع کند، کارایی آن کاهش مییابد. همچنین، دمای داخل محفظه افزایش مییابد؛ زیرا منعکسکننده شروع به جذب گرما میکند. لذا باید آنها را تمیز نگه دارید.
نکته دیگر این است که به فنهای خنککننده دستگاه توجه کنید؛ زیرا با وارد کردن انرژی بیشتر به یک ناحیه کوچک، ویفر میتواند دچار گرمای بیش از حد شود. لذا باید زمان لازم برای خنک شدن ویفر را کنترل کنید.