Wafer temizleme işlemlerinde kızılötesi ısıtma kullanırken güvenliği nasıl sağlarız?
Açık konuşalım: Yanıcı veya patlayıcı temizlik kimyasallarının bulunduğu bir cihazın içine kızılötesi lambalar yerleştirmek oldukça riskli bir durumdur. Lambanın gövdesinde küçük bir kıvılcım veya çatlak oluşursa, sadece bozuk bir cihazla karşı karşıya kalmazsınız; bir felaketle karşı karşıya kalırsınız.
Bunu önlemek için elektrikli parçaları koruyucu bir yapı içine alıyoruz. Kimyasalların ve elektriğin asla bir araya gelmemesini sağlamak için özel kaplama malzemeleri kullanıyoruz.
Sır, mühürlemede yatıyor
Lambayı sadece bir kabın içine koymak yeterli değil. Bu çok aşamalı bir süreçtir. Öncelikle lamba yüksek saflıkta kuvars bir kabın içine yerleştirilir. Daha sonra, kabloların bağlandığı yerlerde kimyasallara dayanıklı contalar ve özel epoksi reçineler kullanılarak her şey mühürlenir. Böylece uçucu organik bileşiklerin elektrik bağlantılarına sızması engellenir. Sadece agresif çözücülere karşı dayanıklı olan malzemeler kullanılır. Bu sayede güvenlik sağlanır.
Kıvılcımın önlenmesi
Patlayıcı bir ortamda ısı da bir sorundur, ancak asıl tehlike kıvılcımlardır. Tek bir kıvılcım bile yeterlidir. Bu yüzden kablolar konusunda çok dikkatliyiz. Canlı elektrikli parçaların havayla temas etmemesini sağlıyoruz. Kaplama malzemeleri, kablo uçlarını ve lehim noktalarını tamamen kaplar. Eğer açıkta elektrik yoksa, kıvılcım da olmaz. Çok basit.
Ödünler
Ancak burada bir handikap var: Filament ile wafer arasına koruyucu bir katman konduğunda, bir miktar ısı kaybı yaşanır. Açık havada bulunan bir lambaya kıyasla radyant ısı akısında hafif bir düşüş olur. Ancak bu bir sorun teşkil etmez. Gerekirse güç ayarlarını değiştirebilir veya waferin hedef sıcaklığa ulaşması için birkaç saniye daha bekleyebilirsiniz.
Gerçek dünyadaki güvenilirlik
Bu lambalar zorlu koşullara dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Standart lambaların saniyeler içinde bozulmasına neden olabilecek kimyasal sıçramalara rağmen bu lambaların çalışmaya devam ettiğini gördük. Her bir üniteyi sızdırmazlık testlerinden geçiriyoruz; çünkü yarı iletken cihazlarda termal değişimlerin ne kadar zorlayıcı olduğunu biliyoruz. Eğer mühürleme başarısız olursa, lamba hızla bozulur. Bu yüzden mühürlemenin bütünlüğüne, lambanın gücünden daha fazla önem veriyoruz. Biraz daha soğuk olsa da güvenilir olan bir lamba, biraz daha sıcak ama riskli olan bir lambadan daha iyidir.