Üretim alanlarında, RTP sıcaklığındaki değişiklikler sadece grafiklerde görünmekle kalmaz; aynı zamanda foto direnç işlemlerinde hatalara da yol...

Fabrika katında, hızlı ısıl işleme sırasında yaşanacak bir sıcaklık sapması, litografi kritik boyutlarında kaymaya yol açar ve birçok wafer’ın...