Kızılötesi wafer ısıtıcı lambasının maliyeti
Litografi işlemlerinde her şeyin ne kadar hızlı kötüye gidebileceğini biliyorsunuz. Yarım derece bile olsa meydana gelebilecek bir sapma, kritik...
Wafer yüzey gerilimi ölçüm ısıtıcısı
Litografide, yumuşak fırınlama veya sert fırınlama sırasında meydana gelen yarım derece Celsius’luk bir değişim “küçük bir hata” olarak kabul...
Elipsometri wafer prob ısıtıcısı
Litografi sürecinde, yumuşak pişirme işlemi sırasında meydana gelen yarım derecelik bir sapma bile, kontrollü bir şekilde ayarlanmış fotoresist...
Temizlemeden sonra wafer ı nasıl kurutulur
Üretim tesislerinde, temizleme işleminden çıkan yongalar, tamamen kuru olana kadar gerçek anlamda temiz sayılmaz. Kalan su izleri, mikro lekeler veya...