Üretim tesislerinde, temizleme işleminden çıkan yongalar, tamamen kuru olana kadar gerçek anlamda temiz sayılmaz. Kalan su izleri, mikro lekeler veya yüzey gerilimi farklılıkları, daha sonra fotorezistin yüzeye yapışmasında sorunlara ve litografi sürecinde parça kusurlarına yol açar. Süreç penceresi 2 nm’nin altına düştüğünde, standart kurutma yöntemleri yeterli olmaz. Bunun temel nedeni termal etkilerdir.
Teknik açıdan asıl önemli olan şeyler Geniş spektrumlu ısıtma yerine, NIR kullanarak hedefe yönelik enerji uygulaması tercih edilir. Dalga boyu, substratın değil, suyun emilim zirvesine ayarlanır. Böylece tüm yüzey üzerinde ±0,1°C’lik bir termal homojenlik sağlanır.
Buharlaşma süreci öngörülebilir hale gelir; bu da yonganın zarar görmesini veya fotorezistin gaz haline geçmesini engeller. Bu sistem, Class 1–100 sınıfı temiz oda ortamlarında kullanılmak üzere tasarlanmıştır ve çalışma sırasında hiçbir partikül oluşmaz.
Neden bu yöntem günlük üretimde işe yarar? Sürecin vardiyadan vardiyaya tekrarlanabilmesi gerekir. Termal kontrol sistemi, temizleme sonrasındaki kritik aşamada stabil kalır; böylece bir sonraki fotorezist katmanının uygulanması için yüzey enerjisi sabit kalır.
Bu tekrarlanabilirlik, litografi sürecindeki önemli değişkenleri ortadan kaldırır; bu da çizgi genişliğinin daha iyi kontrol edilmesini ve yeniden işlem gereksinimlerinin azalmasını sağlar. Sistem, 24/7 güvenilir şekilde çalışır ve planlanmayan arızalar olmaz; böylece termal bütçe korunur ve üretim kapasitesi devam eder.
Başlangıçta dikkat edilmesi gerekenler Bu sistemi kullanabilmek için arayüz noktalarına dikkat edilmesi gerekir. Kurutma odası, mevcut nem giderme sistemi ve kimyasal arıtma ekipmanlarına uygun şekilde yapılandırılmalıdır.
Cihaz sağlam olsa da, yonga üzerindeki başlangıçtaki su tabakasının kalınlığına duyarlıdır; bu yüzden temizleme işlemi istikrarlı olmalıdır. Termal profili belirli temizleme kimyasalları ve işlem süreleriyle uyumlu hale getirmek için kısa bir ayarlama süresi gerekecektir.
Elde edilen fayda oldukça basit: Kurutma aşamasında önlenebilen her bir kusur, atılacak daha az yonga anlamına gelir.