Stop met het verspillen van tijd door te wachten tot de wafer op temperatuur is.
Als je nog steeds gebruikmaakt van hete lucht voor het verwerken van halfgeleiders, betal je eigenlijk een ‘tijdsbelasting’.
Denk eens na over hoe geforceerde luchtcirculatie werkt: je moet eerst de hele kamer opwarmen, daarna het gas opwarmen – en pas daarna kan je wachten tot de hitte zich in de wafer heeft verspreid. Het is langzaam en tijdrovend.
Vakuum-Infraroodverwarming werkt anders: er is geen lucht die in de weg zit. In plaats van te wachten tot de lucht de hitte overdraagt, stuurt infraroodstraling de energie rechtstreeks naar het onderwerp dat verhit moet worden.
Het is snel. Echt snel. Omdat er geen lucht in het vacuüm zit, kunnen we kortegolfgolf- of middengolfgolfinfraroodlampen gebruiken om de gewenste temperatuur te bereiken. Terwijl een systeem met hete lucht nog langzaam werkt, kan een infraroodsysteem de gewenste temperatuur al na enkele seconden bereiken.
Dat verandert alles voor de efficiëntie van het proces. Bovendien hoef je geen energie meer te verspillen aan het opwarmen van de wanden van de kamer. De energie gaat precies waar het nodig is.
Maar let op: het is niet zo simpel als alleen maar een onderdeel vervangen. Je moet rekening houden met het ‘schaduweffect’. Als de lamp zich op de verkeerde plek bevindt, krijgen sommige delen van het onderwerp niet genoeg hitte. We lossen dit meestal op door meerdere lampen te gebruiken of goudcoated beschermingsstructuren toe te passen, zodat de energie weer terug wordt gestuurd naar het doelgebied.
En nog een waarschuwing: deze hoogwaardige lampen worden erg heet aan de uiteinden. Als je niet goed oplet met de koelingssystemen, kunnen de verbindingen beschadigen. Dat is een snelle manier om de levensduur van de lampen te beperken.
Uiteindelijk gaat het erom om over te stappen van langzaam batchproceswerk naar een continu proces. Je vervangt een eenvoudige blazer door iets veel nauwkeurigers. Als je de productie wilt vergroten, is het verlagen van de tijd die nodig is voor het proces de enige manier.