Di bilik proses litografi yang canggih ini, perubahan suhu RTP bukan sahaja dapat dilihat pada graf, tetapi juga dalam bentuk kesilapan semasa proses...

Di lantai fabrikasi, satu lonjakan suhu semasa pemprosesan terma pantas (RTP) sudah cukup untuk mengubah dimensi kritikal litografi dan menyebabkan...