Di lantai fabrikasi, satu lonjakan suhu semasa pemprosesan terma pantas (RTP) sudah cukup untuk mengubah dimensi kritikal litografi dan menyebabkan banyak wafer terbuang. Anda memerlukan haba yang menyala serta-merta, kekal stabil, dan berulang kitar demi kitar. Kami membina sistem lampu RTP yang menyediakan kawalan tersebut tanpa membebankan bajet fab.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami padankan platform RTP anda dengan pilihan lampu halogen gelombang pendek atau gelombang sederhana, yang disesuaikan untuk kadar peningkatan pantas dan kawalan keadaan stabil yang konsisten. Pembalut kuarza dan geometri reflektor dipilih untuk membentuk profil terma merentasi wafer. Anda boleh mengira keseragaman pada tahap wafer dalam lingkungan ±0.1°C dan kebolehulangan pembakaran photoresist yang kekal dalam bajet terma yang ketat.
Sistem ini serasi dengan bilik bersih dari Kelas 1 hingga Kelas 100, dengan penjanaan zarah rendah dan tanpa pelepasan gas yang boleh mencemarkan filem. Penyampaian kuasa diselaraskan dengan alat, dengan pilihan penyambung dan voltan yang sejajar dengan spesifikasi OEM, supaya pertukaran adalah boleh diramalkan dan proses pemasangan cepat.
Mengapa ia berfungsi di lokasi anda
Di trek litografi dan sel RTP, anda menjalankan langkah pembakaran lembut, pembakaran keras, dan anil dimana ketepatan suhu secara langsung menentukan overlay, lebar garis, dan prestasi kecacatan. Lampu kami menstabilkan tingkap pembakaran, mengurangkan kerja semula, dan memastikan masa kitaran kekal ketat. Penggunaan tenaga dioptimumkan melalui output lampu yang cekap dan pemadanan terma yang ketat, yang mengurangkan kos setiap wafer.
Kebolehpercayaan dibina untuk operasi 24/7, dengan data lapangan menunjukkan beribu-ribu jam pada output stabil dan kurang gangguan yang tidak dijangka. Pertukaran lampu yang lebih sedikit bermakna kurang masa tidak berfungsi dan kurang stok alat ganti dalam inventori.
Berikut adalah butiran praktikal
Pemasangan memerlukan penjajaran optik yang tepat dan pengendalian lampu serta reflektor secara bersih untuk memastikan keseragaman pada tahap yang sepatutnya. Memadankan lengkung lampu dengan reka bentuk ruang RTP tertentu adalah wajib; ketidakpadanan akan kelihatan sebagai perubahan dalam tanda tangan proses.
Kami menyediakan pemetaan keserasian dan sokongan penyediaan, tetapi anda masih perlu mengesahkan geometri ruang, antara muka kuasa, dan sekatan penyejukan sebelum pertukaran dilakukan. Anggap lampu sebagai alat pakai kalibrasi: jejak jam operasi, output, dan offset suhu, serta gantikan mengikut jadual untuk melindungi hasil.