Dalam proses litografi, perubahan suhu sebanyak setengah darjah Celsius semasa proses pembakaran lembut atau keras bukanlah “kesilapan yang kecil”. Perubahan ini akan mengganggu aliran bahan fotoresist, seterusnya merosakkan kawalan dimensi yang penting, dan menyebabkan hasil pengeluaran tidak memenuhi spesifikasi yang ditetapkan. Dalam operasi sebenar, hal ini akan menyebabkan sisa bahan yang banyak, perlukan pembaikan, dan kelewatan dalam jadual pengeluaran. Kami telah mencipta alat pengukur tegangan permukaan wafer untuk mengelakkan variasi suhu sebelum ia sampai ke wafer itu sendiri.
Apa yang penting dari segi teknikal:
Kami menggunakan elemen inframerah gelombang pendek dalam reka bentuk berbasis kuarsa, agar haba yang dihasilkan cepat dan bersih—tanpa risiko adanya zarah-zarah halus. Di kawasan aktif, ketepatan suhu pada tahap wafer adalah antara ±0.1°C, dan prestasi alat ini tetap konsisten dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain. Alat ini direka khusus untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100, dengan bahan yang kurang mengeluarkan gas, serta permukaan yang bebas daripada zarah-zarah halus. Alat ini juga boleh disambungkan dengan mudah ke sistem pengeluaran yang sedia ada.
Inilah sebabnya mengapa alat ini berkesan dalam proses penggunaan bahan fotoresist: semua komponen sangat sensitif terhadap suhu. Proses penghapusan pelarut, kelikatan, dan tegangan permukaan semuanya dipengaruhi oleh suhu dan masa. Dengan menstabilkan suhu semasa proses pembakaran, kita dapat memastikan lebar garis dan bentuk tepi yang konsisten. Hasilnya, terdapat lebih sedikit masalah, kawalan yang lebih baik, dan lebih sedikit sisa bahan yang terbuang. Kawalan suhu yang cepat dan operasi yang stabil juga membantu mengurangkan penggunaan tenaga. Sasaran kebolehpercayaan alat ini adalah untuk beroperasi 24/7.
Aspek praktikal:
Pemasangan alat ini memerlukan penyesuaian daya dan isyarat kawalan agar sesuai dengan platform utama. Selain itu, titik suhu perlu diselaraskan mengikut keperluan lapisan bahan fotoresist. Alat ini akan berfungsi dengan lebih baik jika sambungan udara dan keselamatan ruang pengeluaran diperiksa dengan teliti. Rancang integrasi alat ini lebih awal, dan uji prestasinya terlebih dahulu sebelum memulakan proses pengeluaran secara besar-besaran.