Kos lampu pemanas wafer inframerah
Di bilik litografi, anda tahu betapa cepatnya segala-galanya boleh menjadi tidak terkawal. Walaupun perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja...
Alat untuk mengukur tegangan permukaan wafer
Dalam proses litografi, perubahan suhu sebanyak setengah darjah Celsius semasa proses pembakaran lembut atau keras bukanlah “kesilapan yang kecil”....